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白光干涉測量在軍機液壓 / 燃油閥平面度精密檢測中的應用

引言軍機液壓/燃油閥是航空動力與操控系統的核心部件，其密封面平面度精度直接關系飛行安全與裝備可靠性。軍機服役環境嚴苛，高頻振動、高低溫交替及燃油雜質沖蝕，易造成密...

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白光干涉測量解析鏡筒定位面平面度的像質影響機理

摘要鏡筒定位面平面度偏差會通過鏡片裝配偏差誘發光學系統像質劣化，明確其影響機理是提升光學系統性能的關鍵。白光干涉測量技術憑借非接觸、納米級精度優勢，可精準表征定位...

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微流控封裝貼合平面度優化及白光干涉測量檢測技術應用

摘要微流控封裝貼合平面度直接影響器件密封性能與工作穩定性，優化平面度并采用精準檢測技術，是提升微流控芯片質量的關鍵。白光干涉測量技術憑借非接觸、納米級精度的優勢，...

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LNG 深冷硬密封蝶閥平面度形變機理與白光干涉測量表征

摘要LNG深冷硬密封蝶閥是液化天然氣儲存、輸送系統的核心部件，長期工作于-162℃深冷工況，其密封面平面度易發生形變，引發密封失效、LNG泄漏等隱患。明確平面度形...

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