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            • 新啟航半導體有限公司


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              2026
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              白光干涉儀在鈣鈦礦電池激光刻蝕制程質控中的精密檢測應用
              一、鈣鈦礦電池激光刻蝕制程核心質控痛點激光刻蝕是鈣鈦礦電池模組串并聯結構制備的核心工序,P1、P2、P3多級溝槽的納米級深度精度,直接決定電池刻蝕品質、膜層絕緣性...
              白光干涉儀在鈣鈦礦電池激光刻蝕制程質控中的精密檢測應用
              29
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              白光干涉儀在鈣鈦礦電池P1/P2/P3劃槽工藝質控中的精密檢...
              一、工藝痛點:激光劃槽深度對鈣鈦礦組件性能的核心影響鈣鈦礦光伏組件P1、P2、P3激光劃槽是薄膜串聯成型的核心工序,劃槽深度、槽體形貌直接決定膜層刻蝕質量與子電池...
              白光干涉儀在鈣鈦礦電池P1/P2/P3劃槽工藝質控中的精密檢測應用
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              微透鏡陣列排布間距 (Array Pitch) 異常管控:白...
              一、工藝痛點與傳統檢測局限微透鏡陣列排布間距(Array Pitch)是決定勻光、光束匹配、光學耦合性能的核心幾何參數,其排布一致性直接影響半導體光學器件的成品性...
              微透鏡陣列排布間距 (Array Pitch) 異常管控:白光干涉儀量產工藝調控方案
              29
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              基于白光干涉儀的超光滑樣品微觀形貌表征與工藝異常溯源研究
              一、研究概述超光滑光學樣品是精密光學、半導體、激光器件等高端產業的核心基材,其表面納米級粗糙度、微觀形貌及微結構缺陷,直接影響器件光學透過率、鍍膜品質與使用壽命。...
              基于白光干涉儀的超光滑樣品微觀形貌表征與工藝異常溯源研究
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