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2026

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白光干涉測量表征微流控基底貼合面平面度及微米縫隙影響分析

摘要微流控芯片基底貼合面的平面度及微米級縫隙直接影響器件密封性能與流體操控精度，精準表征二者特性是優化封裝工藝的關鍵。白光干涉測量技術具有非接觸、納米級分辨率的優...

12

2026

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05

鏡筒定位面平面度對光學鏡片形變的白光干涉測量研究

摘要光學鏡筒定位面平面度直接影響鏡片裝配精度，易引發鏡片微觀形變，進而降低光學系統成像質量。白光干涉測量技術憑借非接觸、納米級分辨率優勢，可精準表征定位面平面度與...

12

2026

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05

基于白光干涉測量的微流控封裝平面度對芯片基底貼合性能研究

摘要微流控芯片作為生物醫學檢測、化學分析等領域的核心精密器件，其封裝平面度直接決定芯片基底貼合緊密性，進而影響流體流動特性與檢測精度。白光干涉測量技術憑借非接觸、...

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2026

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05

CMOS芯片共面度偏差，白光干涉測量解決倒裝、固晶受力不均

引言CMOS芯片作為半導體封裝領域的核心器件，共面度精度直接決定倒裝、固晶工序的穩定性，共面度偏差會導致倒裝貼合錯位、固晶受力不均，進而引發芯片封裝失效、可靠性下...

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