引言

高壓加氫反應(yīng)器是石油化工領(lǐng)域核心設(shè)備，其密封件平面度直接決定設(shè)備密封可靠性與運(yùn)行安全。設(shè)備服役于高溫、高壓、強(qiáng)腐蝕工況，密封件易發(fā)生磨損、形變，導(dǎo)致平面度偏差，引發(fā)介質(zhì)泄漏、設(shè)備停機(jī)等安全隱患與經(jīng)濟(jì)損失。傳統(tǒng)接觸式測(cè)量精度不足且易損傷密封面，白光干涉測(cè)量憑借非接觸、高精度、高分辨率優(yōu)勢(shì)，成為密封件平面度測(cè)量的優(yōu)選技術(shù)，開展其應(yīng)用研究具有重要工業(yè)價(jià)值。

白光干涉測(cè)量原理

該測(cè)量技術(shù)基于邁克爾遜干涉原理，以寬光譜白光為光源，光束經(jīng)分光鏡分為測(cè)量光與參考光，分別投射至高壓加氫反應(yīng)器密封件表面與標(biāo)準(zhǔn)參考鏡，反射光匯聚形成干涉條紋。通過采集干涉信號(hào)重構(gòu)密封件三維形貌，垂直分辨率達(dá)亞納米級(jí)，可精準(zhǔn)捕捉微觀平面度缺陷，避免接觸式測(cè)量的二次損傷，高效獲取平面度特征參數(shù)，適配高壓設(shè)備密封件的精密測(cè)量需求。

測(cè)量實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)與應(yīng)用

實(shí)驗(yàn)選取高壓加氫反應(yīng)器硬質(zhì)合金密封件為被測(cè)對(duì)象，采用高精度白光干涉測(cè)量系統(tǒng)開展檢測(cè)。嚴(yán)格遵循石油化工設(shè)備檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)，清潔密封件表面去除腐蝕產(chǎn)物與雜質(zhì)，調(diào)節(jié)系統(tǒng)參數(shù)確保測(cè)量精度。結(jié)果顯示，測(cè)量誤差控制在4nm以內(nèi)，可精準(zhǔn)識(shí)別磨損、腐蝕導(dǎo)致的平面度偏差，為密封件質(zhì)量管控、失效分析及修復(fù)提供精準(zhǔn)數(shù)據(jù)支撐，適配高壓加氫反應(yīng)器的嚴(yán)苛運(yùn)行要求。

新啟航 專業(yè)提供綜合光學(xué)3D測(cè)量方案

多功能面型干涉儀——大視野平面度/納米精密測(cè)量設(shè)備

單臺(tái)設(shè)備搞定全維度精密測(cè)量，一站式覆蓋微納級(jí)平面度、深孔臺(tái)階、陡峭錐面角度及3D輪廓檢測(cè)，高效適配各種硬密封零部件測(cè)量需求。

四大核心技術(shù)革新，突破行業(yè)測(cè)量瓶頸

一鍵自動(dòng)掃描：徹底破解傳統(tǒng)光學(xué)測(cè)量在高精度工況下“深度受限、視野偏小”的行業(yè)痛點(diǎn)，全面兼容平面度、臺(tái)階高度、多面平行度、錐孔等多維度精密測(cè)量需求，適配噴油嘴核心部位檢測(cè)。

（實(shí)測(cè)噴油器密封端面 平面度變形 0.35um）

多臺(tái)階面平行度測(cè)量能力，市面上非常多的面型干涉儀，局限于單一平面的平面度測(cè)量，無法實(shí)現(xiàn)多臺(tái)階的平面一體化分析。我們解決了70mm臺(tái)階測(cè)量能力，重復(fù)精度滿足5nm再現(xiàn)性。

自動(dòng)化批量測(cè)量模式：?jiǎn)畏曇翱蛇_(dá)23×18mm，支持最大200mm視野全自動(dòng)跑點(diǎn)測(cè)量，大幅提升批量檢測(cè)效率；針對(duì)更大視野、更高精度的定制化需求，可提供專屬非標(biāo)解決方案，靈活適配不同生產(chǎn)場(chǎng)景。

深錐孔角度精準(zhǔn)測(cè)量：打破傳統(tǒng)面型測(cè)量?jī)x功能單一的局限，在保障微納級(jí)平面度測(cè)量精度的基礎(chǔ)上，同步實(shí)現(xiàn)陡峭錐面、深錐孔角度的精準(zhǔn)檢測(cè)，適用場(chǎng)景更廣泛，檢測(cè)能力更全面。

上下平面平行度專屬檢測(cè)：采用獨(dú)特光路設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)非/透明產(chǎn)品的厚度與上下平面平行度同步測(cè)量，無需額外設(shè)備，簡(jiǎn)化檢測(cè)流程，提升檢測(cè)效率。

新啟航半導(dǎo)體——專業(yè)綜合光學(xué)3D測(cè)量解決方案提供商，以核心技術(shù)賦能精密制造，為噴油嘴等零部件檢測(cè)提供高效、精準(zhǔn)、便捷的全流程服務(wù)！