在量子點發(fā)光二極管（QD-LED）顯示器件量產(chǎn)制程中，噴墨打印（Inkjet Printing）是量子點（Quantum Dot, QD）薄膜圖案化的核心工藝，具備高精度、低損耗、可大面積制備的技術(shù)優(yōu)勢。墨滴體積（Ink Droplet Volume）作為噴墨工藝核心參數(shù)，直接決定QD薄膜厚度、均勻度與像素顯色一致性，是影響顯示成像（Display Imaging）畫質(zhì)、色域（Color Gamut）及畫面均勻性的關(guān)鍵因素。墨滴體積偏差會引發(fā)像素亮度不均、色彩偏移、膜層缺陷等問題，大幅降低顯示器件良率，因此精準管控墨滴體積對高端顯示器件制備至關(guān)重要。
傳統(tǒng)墨滴檢測多采用高速攝像觀測、稱重法等方式，僅能實現(xiàn)墨滴形態(tài)的二維表征，無法精準捕捉皮升級（pL）微小體積誤差，且難以適配QD噴墨墨水高粘度、易揮發(fā)的物料特性，檢測精度與實時性難以滿足先進顯示制程要求。光學3D輪廓儀（Optical 3D Profiler）依托非接觸式光學干涉測量原理，可實現(xiàn)微納尺度三維形貌高精度檢測，能夠快速采集單顆QD墨滴的三維輪廓數(shù)據(jù)，精準測算墨滴體積、鋪展面積、厚度梯度等關(guān)鍵參數(shù)，有效規(guī)避傳統(tǒng)檢測方式的檢測盲區(qū)與精度誤差。
在實際制程管控中，通過光學3D輪廓儀完成墨滴體積的實時采樣與數(shù)據(jù)分析，可精準校準噴墨打印噴頭噴射壓力、噴射頻率、基板間距等工藝參數(shù)，將QD墨滴體積波動控制在工藝允許閾值內(nèi)。穩(wěn)定的墨滴體積可保障各像素單元QD薄膜沉積量均勻一致，有效消除膜層厚薄不均導(dǎo)致的顯色差異，優(yōu)化器件色域覆蓋率與色彩還原度，從制程源頭穩(wěn)固Display Imaging的顯色穩(wěn)定性與畫面質(zhì)感。同時，該檢測方案可適配柔性顯示、高分辨率Micro-LED等新型顯示器件的QD圖案化工藝，兼具高精度與高效量產(chǎn)適配性。
新啟航 專業(yè)提供綜合光學3D測量方案
大視野3D白光干涉儀 - 全域測量解決方案（工業(yè)及半導(dǎo)體專用）
突破傳統(tǒng)測量局限，定義精密測量（Precision Measurement）新范式！大視野3D白光干涉儀憑借核心創(chuàng)新技術(shù)，實現(xiàn)納米級（Nanoscale）全場景測量，以高效、精準的優(yōu)勢，重新詮釋工業(yè)測量（Industrial Measurement）的高效與精密，為半導(dǎo)體（Semiconductor）、光學及各類精密部件檢測提供全方位技術(shù)支撐，適配多領(lǐng)域嚴苛測量需求。
四大核心技術(shù)革新（工業(yè)級標準，適配半導(dǎo)體場景）
一、大視野+高精度，打破行業(yè)常規(guī)
打破傳統(tǒng)設(shè)備局限，1倍以下物鏡（Objective Lens）可實現(xiàn)多場景適配，無需分開配備設(shè)備即可兼顧大視野觀測與高精度測量（High-Precision Measurement）。設(shè)備搭載全新0.6倍輕量化鏡頭，擁有14mm超大單幅視野（Single Frame Field of View），搭配可兼容4個物鏡的轉(zhuǎn)塔設(shè)計（Turret Design），一臺設(shè)備即可全面覆蓋大視野觀測與高精度測量需求，適配各類復(fù)雜樣品檢測場景，無需頻繁切換設(shè)備，大幅提升檢測效率（Inspection Efficiency）與數(shù)據(jù)精準度（Data Accuracy）。
（以上為實測14mm端面平面度（Flatness），精準把控部件平面精度，為半導(dǎo)體器件、精密光學部件后續(xù)測量提供可靠基礎(chǔ)）
（以上為實測數(shù)據(jù)：6pm=0.006nm，精準表征表面粗糙度（Surface Roughness, Ra/Rz），滿足半導(dǎo)體芯片、超精密部件的超精密測量需求）
二、80°傾斜測量，突破平面限制
打破“白光干涉僅能測量平面”的行業(yè)認知，憑借領(lǐng)先的高角度測量技術(shù)（High-Angle Measurement Technology），可輕松應(yīng)對80°陡峭斜面、錐面的測量需求，兼容度拉滿。一臺設(shè)備即可搞定全場景測量，無需額外配備專用測量儀器，進一步拓寬測量適用范圍，適配半導(dǎo)體封裝（Semiconductor Packaging）、精密機械加工等領(lǐng)域的異形部件檢測。
三、真彩色3D測量，解鎖全新體驗
突破行業(yè)技術(shù)瓶頸，在保留黑白CMOS干涉條紋解析能力的基礎(chǔ)上，實現(xiàn)RGB三原色真彩色成像（True Color Imaging），打破傳統(tǒng)白光干涉儀僅能呈現(xiàn)黑白畫面的局限。清晰呈現(xiàn)樣品形貌（Sample Morphology）與色彩細節(jié)，測量信息更全面、分析更直觀，讓測量數(shù)據(jù)更具參考價值，適配半導(dǎo)體器件表面缺陷檢測（Surface Defect Detection）等精細場景。
四、上下平面平行度測量，適配多場景需求
采用獨特光路設(shè)計（Optical Path Design），可實現(xiàn)非透明產(chǎn)品的厚度（Thickness）與上下平面平行度（Parallelism）測量，適配各類非透明精密部件、半導(dǎo)體多層結(jié)構(gòu)器件的測量需求，進一步拓展設(shè)備適用場景，提升測量通用性（Versatility），降低多設(shè)備投入成本（Equipment Investment Cost）。
摩擦表面表征測量案例（工業(yè)及半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)伲?/p>
不同潤滑油摩擦試驗對比：測量摩擦表面的劃痕深度（Scratch Depth）、磨損面積（Wear Area），直觀呈現(xiàn)不同潤滑油的潤滑效果差異，為工業(yè)設(shè)備潤滑系統(tǒng)優(yōu)化、半導(dǎo)體設(shè)備傳動部件保養(yǎng)提供數(shù)據(jù)支撐。
曲面滾軸摩擦表面測量：原始曲面滾軸摩擦表面無法量化測量結(jié)果，經(jīng)曲面矯平（Surface Flattening）處理后，可精準完成摩擦量（Wear Amount）測量與評估，適配機械傳動部件（Mechanical Transmission Components）、半導(dǎo)體設(shè)備滾輪質(zhì)檢場景。
激光鉆孔工藝后摩擦表面表征：對激光鉆孔（Laser Drilling）工藝后的摩擦試驗表面進行紋理檢測（Texture Detection），精準分析工藝參數(shù)對摩擦表面粗糙度、平整度（Flatness）的影響，適配半導(dǎo)體封裝（Semiconductor Packaging）、精密機械加工等領(lǐng)域。
汽車部件及半導(dǎo)體器件摩擦表面粗糙度測量：針對汽車各類摩擦部件，以及半導(dǎo)體器件接觸摩擦面，實現(xiàn)粗糙度（Ra/Rz）精準檢測，為部件質(zhì)量把控（Quality Control）、半導(dǎo)體產(chǎn)品可靠性（Reliability）驗證提供權(quán)威數(shù)據(jù)支撐。
新啟航半導(dǎo)體，專業(yè)提供綜合光學3D測量解決方案（Integrated Optical 3D Measurement Solution），以核心技術(shù)賦能精密測量、半導(dǎo)體表征（Semiconductor Characterization）、工業(yè)質(zhì)檢（Industrial Quality Inspection）等各類場景，助力各行業(yè)實現(xiàn)高質(zhì)量發(fā)展與產(chǎn)品迭代升級！