一、光伏量產(chǎn)檢測痛點
薄膜光伏量產(chǎn)的核心工序為P1/P2/P3激光結(jié)構(gòu)化劃線，是實現(xiàn)電池單片互聯(lián)的關(guān)鍵工藝。光伏薄膜為多層堆疊結(jié)構(gòu)，生產(chǎn)過程中易出現(xiàn)劃線深度異常、膜層剝離不均、溝槽側(cè)壁殘缺等缺陷，進而引發(fā)組件漏電、界面接觸電阻升高、膜層分層脫落等問題，直接降低電池填充因子與量產(chǎn)良率，制約光伏規(guī)模化量產(chǎn)落地。
傳統(tǒng)檢測依賴臺階儀單點抽檢模式，存在檢測效率低、覆蓋范圍有限的短板，無法識別薄膜微觀分層、微小過刻、淺刻等隱性缺陷，難以滿足產(chǎn)線全流程、全維度質(zhì)量管控需求。
二、白光干涉儀檢測方案優(yōu)勢
大視野3D白光干涉儀基于光學3D干涉成像技術(shù)，采用非接觸式無損檢測方式，可納米級精準采集激光劃線溝槽深度、剖面形貌、薄膜平整度等核心數(shù)據(jù)，精準甄別微米級薄膜分層及各類工藝隱患。
設(shè)備可量化多層薄膜分層狀態(tài)，實時反饋激光功率、掃描速度等工藝參數(shù)偏差，輔助產(chǎn)線精準校準工藝參數(shù)，匹配不同功能薄膜刻蝕閾值，有效規(guī)避刻蝕熱損傷、層間剝離等質(zhì)量問題。量產(chǎn)實測數(shù)據(jù)驗證，該檢測方案可顯著提升薄膜劃線一致性，大幅降低膜層分層不良率，穩(wěn)定組件量產(chǎn)良率與光電轉(zhuǎn)換性能。
三、設(shè)備核心技術(shù)革新（工業(yè)半導體級）
大視野融合高精度，突破傳統(tǒng)測量局限
打破傳統(tǒng)檢測設(shè)備視野與精度無法兼顧的行業(yè)痛點，搭載0.6倍輕量化專用鏡頭，實現(xiàn)15.5mm超大單幅檢測視野，搭配四物鏡兼容轉(zhuǎn)塔設(shè)計，一臺設(shè)備即可覆蓋大視野觀測、納米級高精度測量雙重需求，無需頻繁切換設(shè)備，大幅提升產(chǎn)線檢測效率與數(shù)據(jù)準確性。
相較于激光共聚焦設(shè)備高倍鏡頭視野狹小、僅能局部檢測的短板，該設(shè)備可實現(xiàn)大視野全域掃描+納米級精度測量，適配光伏薄膜、半導體精密部件、光學器件等復(fù)雜樣品檢測場景。
2. 超精密測量能力，適配高端制程
設(shè)備可達6pm（0.006nm）超高測量精度，可精準表征工件表面粗糙度（Ra/Rz）、端面平面度等微觀參數(shù)，完全滿足半導體芯片、超精密光學部件、光伏功能薄膜的嚴苛測量標準，為精密制程質(zhì)控提供可靠數(shù)據(jù)支撐。
四、行業(yè)應(yīng)用定位
新啟航專注提供一體化光學3D測量解決方案，依托白光干涉核心技術(shù)，賦能精密測量、半導體表征、工業(yè)質(zhì)檢、光伏量產(chǎn)質(zhì)控等場景，助力各行業(yè)實現(xiàn)制程優(yōu)化與產(chǎn)品迭代升級。
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