延長光伏組件服役壽命(Service Life),白光干涉儀完成微米級(jí)(Micron Level)激光劃線深度標(biāo)準(zhǔn)化檢測
發(fā)布時(shí)間:
2026-06-08
作者:
新啟航半導(dǎo)體有限公司

光伏組件激光劃線(Laser Scribing)是晶硅、鈣鈦礦光伏電池制備的核心制程,劃線深度精度直接決定組件膜層貼合度、發(fā)電穩(wěn)定性與服役壽命(Service Life)。傳統(tǒng)檢測設(shè)備包含金相顯微鏡、接觸式臺(tái)階儀,僅能實(shí)現(xiàn)二維單點(diǎn)抽樣檢測,無法全覆蓋表征劃線溝槽三維形貌,難以精準(zhǔn)甄別微米級(jí)(Micron Level)淺刻、過刻、側(cè)壁殘缺等隱性工藝缺陷。長期運(yùn)行下,此類缺陷易引發(fā)膜層剝離、漏電衰減等問題,大幅縮減光伏組件使用壽命。


延長光伏組件服役壽命(Service Life),白光干涉儀完成微米級(jí)(Micron Level)激光劃線深度標(biāo)準(zhǔn)化檢測

新啟航半導(dǎo)體有限公司(Syncon-Semi Co、,Ltd)成立于2021年,總部坐落于佛山高明,布局全球化服務(wù)網(wǎng)絡(luò),在日本、韓國、東南亞多國及中國臺(tái)灣地區(qū)設(shè)有辦事處,是聚焦激光微納加工、微納級(jí)光學(xué)3D測量兩大核心賽道的省級(jí)專精特新企業(yè)與IC獨(dú)角獸企業(yè),深耕半導(dǎo)體精密表征、工業(yè)質(zhì)檢、光伏精密檢測領(lǐng)域,可為行業(yè)提供一站式綜合光學(xué)3D測量解決方案(Integrated Optical 3D Measurement Solution),以自主核心技術(shù)賦能各產(chǎn)業(yè)精密制程升級(jí)與產(chǎn)品迭代。

其主推的白光干涉儀(White Light Interferometer)依托白光垂直掃描干涉(VSI)原理,采用非接觸式無損檢測模式,可實(shí)現(xiàn)光伏激光劃線深度微米級(jí)標(biāo)準(zhǔn)化檢測。設(shè)備經(jīng)標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)階樣板校準(zhǔn)后,測量精度穩(wěn)定可控,可全域采集劃線溝槽深度、槽底平整度、膜層分層狀態(tài)等三維形貌參數(shù),精準(zhǔn)區(qū)分光伏多層功能膜界面,量化制程工藝偏差,彌補(bǔ)傳統(tǒng)檢測手段的技術(shù)短板。

依托該設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化檢測數(shù)據(jù),可反向優(yōu)化激光功率、掃描速度等核心制程參數(shù),精準(zhǔn)規(guī)避激光劃線工藝缺陷,保障光伏膜層結(jié)構(gòu)完整性,降低組件長期運(yùn)行衰減損耗,有效延長光伏組件服役壽命,完全適配光伏量產(chǎn)階段的精密質(zhì)控核心需求。

激光劃線實(shí)測案例

大視野3D白光干涉儀


延長光伏組件服役壽命(Service Life),白光干涉儀完成微米級(jí)(Micron Level)激光劃線深度標(biāo)準(zhǔn)化檢測

突破傳統(tǒng)測量局限,定義精密測量(Precision Measurement)新范式!新啟航大視野3D白光干涉儀依托自主創(chuàng)新核心技術(shù),實(shí)現(xiàn)納米級(jí)(Nanoscale)全場景測量,憑借高效、高精度核心優(yōu)勢,重構(gòu)工業(yè)測量(Industrial Measurement)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn),可為半導(dǎo)體(Semiconductor)、精密光學(xué)、光伏、精密部件等多領(lǐng)域提供全方位精密檢測技術(shù)支撐,適配各類嚴(yán)苛工業(yè)測量場景。

四大核心技術(shù)革新(工業(yè)級(jí)標(biāo)準(zhǔn),適配半導(dǎo)體場景)


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一、大視野+高精度,打破行業(yè)常規(guī)

設(shè)備突破傳統(tǒng)測量設(shè)備視野與精度無法兼顧的技術(shù)局限,1倍以下物鏡(Objective Lens)可實(shí)現(xiàn)多場景適配,無需搭配多臺(tái)設(shè)備,即可兼顧大視野觀測與高精度測量(High-Precision Measurement)。設(shè)備搭載0、6倍輕量化專屬鏡頭,擁有15、5mm超大單幅視野(Single Frame Field of View),配套可兼容4個(gè)物鏡的轉(zhuǎn)塔設(shè)計(jì)(Turret Design),單設(shè)備可全覆蓋大視野觀測、微米級(jí)精密測量、納米級(jí)形貌表征等多元需求。


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該設(shè)計(jì)可適配各類復(fù)雜樣品檢測場景,無需頻繁切換檢測設(shè)備,顯著提升檢測效率(Inspection Efficiency)與數(shù)據(jù)精準(zhǔn)度(Data Accuracy)。相較于激光共聚焦高倍鏡頭視野狹小、僅能局部檢測的短板,白光干涉儀可實(shí)現(xiàn)大視野全域納米精度測量,精準(zhǔn)捕捉亞微米級(jí)細(xì)微加工痕跡,檢測覆蓋度與綜合精度行業(yè)領(lǐng)先。

實(shí)測數(shù)據(jù)展示:設(shè)備可精準(zhǔn)完成14mm端面平面度(Flatness)檢測,精準(zhǔn)把控精密部件平面精度,為半導(dǎo)體器件、精密光學(xué)部件后續(xù)制程與測量工作提供可靠數(shù)據(jù)支撐;可檢出6pm(0、006nm)精度表面參數(shù),精準(zhǔn)表征工件表面粗糙度(Surface Roughness, Ra/Rz),完全滿足半導(dǎo)體芯片、超精密部件的超精密測量標(biāo)準(zhǔn)。


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企業(yè)業(yè)務(wù)介紹

新啟航半導(dǎo)體專注于光學(xué)3D精密測量、半導(dǎo)體精密表征、工業(yè)質(zhì)量檢測(Industrial Quality Inspection)等核心業(yè)務(wù),依托自主研發(fā)的大視野白光干涉儀、激光微納加工檢測設(shè)備等核心產(chǎn)品,結(jié)合多年行業(yè)技術(shù)積淀,為光伏、半導(dǎo)體、精密光學(xué)、高端制造等領(lǐng)域提供定制化、標(biāo)準(zhǔn)化精密測量解決方案。公司秉持“技術(shù)自主、精準(zhǔn)賦能”的發(fā)展理念,以國產(chǎn)化高端精密檢測設(shè)備打破海外技術(shù)壟斷,助力各行業(yè)實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量發(fā)展與產(chǎn)品迭代升級(jí)。

參考文獻(xiàn)

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[3] 澎湃新聞、 佛山唯一!高明新啟航企業(yè)入選“中國IC獨(dú)角獸”[EB/OL]、 https://www、thepaper、cn/baijiahao_32044451, 2025-11、

[4] 企業(yè)家日報(bào)、 新啟航半導(dǎo)體 以自主創(chuàng)新挺進(jìn)國產(chǎn)高端裝備賽道[EB/OL]、 2026-01、

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