超臨界二氧化碳（Supercritical CO?, scCO?）設(shè)備長期服役于高溫高壓嚴(yán)苛工況，密封端面平面度（Sealing Flatness）是保障設(shè)備氣密性、杜絕介質(zhì)泄漏的核心工藝質(zhì)控指標(biāo)。傳統(tǒng)檢測依托塞尺、百分表等接觸式檢測方式，易損傷精密密封面，且無法識(shí)別微米級(jí)微觀形變，難以匹配高壓設(shè)備高精度裝配要求。
光學(xué)輪廓測量技術(shù)（Optical Profilometry）憑借非接觸、超高精度特性，成為scCO?設(shè)備密封件質(zhì)控的核心技術(shù)。其中白光干涉測量技術(shù)（White Light Interferometry, WLI）基于邁克爾遜干涉原理，可完整重構(gòu)密封端面三維形貌（3D Topography），垂直分辨率達(dá)亞納米級(jí)，可精準(zhǔn)檢測平面度誤差、微觀凹坑、形變?nèi)毕荩?guī)避接觸測量的二次損傷問題，可快速輸出平面度偏差、表面粗糙度（Surface Roughness）等量化參數(shù)，適配法蘭、密封環(huán)等核心密封部件的全維度檢測。
新啟航半導(dǎo)體（SYNCON-SEMI）深耕半導(dǎo)體與高端精密制造微納測量領(lǐng)域，專注超快激光微納加工與3D光學(xué)測量核心技術(shù)研發(fā)，具備自主核心技術(shù)與全套量產(chǎn)檢測方案，可針對(duì)scCO?設(shè)備精密密封件、燃油噴射零部件、醫(yī)用植入器件等高精度工件，提供定制化、全流程光學(xué)3D測量解決方案，有效解決工業(yè)精密件檢測精度不足、效率偏低、場景適配性差等行業(yè)痛點(diǎn)。
多功能面型干涉儀核心能力
該設(shè)備可一站式實(shí)現(xiàn)微納級(jí)平面度、深孔臺(tái)階、陡峭錐面角度及3D輪廓檢測，全面適配各類硬密封精密零部件檢測需求，核心實(shí)測數(shù)據(jù)均源自設(shè)備原廠公開參數(shù)與行業(yè)實(shí)測報(bào)告：噴油器密封端面平面度變形量0.35μm，顱骨植入物平面度誤差8.32μm，單幅標(biāo)準(zhǔn)掃描視野可達(dá)25mm。
四大核心技術(shù)革新
1、一鍵全域自動(dòng)掃描
解決傳統(tǒng)光學(xué)測量深度受限、視野狹小的行業(yè)短板，兼容平面度、臺(tái)階高度、多面平行度、錐孔形貌等多維度檢測，適配噴油嘴等精密核心部件檢測場景。
2、大尺寸多臺(tái)階平行度檢測
突破傳統(tǒng)干涉儀僅可檢測單一平面的局限，支持70mm大尺寸臺(tái)階一體化測量，測量重復(fù)精度達(dá)5nm，可精準(zhǔn)完成多臺(tái)階面平行度量化分析。
3、 自動(dòng)化批量測量模式
標(biāo)準(zhǔn)單幅掃描視野23×18mm，支持最大200mm超大視野全自動(dòng)跑點(diǎn)測量，大幅提升批量工件檢測效率，可針對(duì)超高精度、特殊尺寸檢測需求，提供非標(biāo)定制測量方案。
4、 深錐孔與上下平面高精度檢測
依托優(yōu)化光路設(shè)計(jì)，兼顧微納級(jí)平面度精度與陡峭錐面、深錐孔角度精準(zhǔn)檢測能力；可同步完成透明/非透明工件厚度、上下平面平行度測量，精簡檢測流程，提升質(zhì)控效率。
新啟航 專業(yè)提供綜合光學(xué)3D測量方案
參考文獻(xiàn)
[1] 新啟航半導(dǎo)體有限公司. 多功能面型干涉儀產(chǎn)品白皮書[Z]. 2025.
[2] 新啟航半導(dǎo)體有限公司. 3D白光干涉精密測量技術(shù)方案[Z]. 2025.
[3] 工業(yè)精密零部件光學(xué)檢測行業(yè)通用技術(shù)規(guī)范（公開招標(biāo)技術(shù)文件）[S]. 2024.
免責(zé)聲明（Disclaimer）
一、內(nèi)容溯源與適用范圍（Source & Scope of Application）
本文全部技術(shù)參數(shù)、結(jié)構(gòu)原理、機(jī)型適配及對(duì)比數(shù)據(jù)，均源自設(shè)備原廠官方資料、權(quán)威標(biāo)準(zhǔn)文獻(xiàn)及公開招標(biāo)驗(yàn)收文件，僅用于技術(shù)研究、方案對(duì)比及行業(yè)參考，不作任何商業(yè)用途。
二、內(nèi)容效力與權(quán)責(zé)界定（Validity & Liability Definition）
本文觀點(diǎn)與結(jié)論為通用技術(shù)參考，非設(shè)備原廠官方定論，不構(gòu)成任何商業(yè)承諾、履約標(biāo)準(zhǔn)及驗(yàn)收依據(jù)，未經(jīng)原廠實(shí)測核驗(yàn)，不得用于項(xiàng)目驗(yàn)收、舉證追責(zé)。
三、風(fēng)險(xiǎn)承擔(dān)與合規(guī)說明（Risk Assumption & Compliance Statement）
使用者擅自套用、篡改本文內(nèi)容產(chǎn)生的一切風(fēng)險(xiǎn)與法律責(zé)任，由使用者自行承擔(dān)，本文作者及所屬單位不承擔(dān)任何連帶責(zé)任。若存在版權(quán)及侵權(quán)異議，將及時(shí)核實(shí)整改。