鈣鈦礦疊層電池（Tandem Perovskite Cell）量產核心依托P1/P2/P3激光劃槽（Laser Grooving）工藝，激光溝槽深度（Laser Groove Depth）與表面形貌直接決定薄膜刻蝕質量、子電池串聯性能及光電轉換效率。溝槽深度偏差會誘發電池短路、漏電、效率衰減等核心品質問題，是產線質控的關鍵管控指標。傳統接觸式測量設備精度有限，且易損傷超薄膜層樣品，無法滿足鈣鈦礦電池納米級精密質控需求。

白光干涉儀（White Light Interferometer, WLI）基于光學三維干涉成像原理，采用非接觸式無損檢測（Non-destructive Testing）模式，垂直測量精度可達納米級，高度適配鈣鈦礦疊層電池多層復合薄膜結構的檢測場景。設備可精準量化激光溝槽深度、槽底平整度、側壁形貌及薄膜分層狀態，精準甄別過刻、淺刻等隱性工藝缺陷。實測數據可精準標定P2劃槽858nm最優工藝深度，保障功能膜層完全去除，同時規避底層ITO基底損傷問題。

該設備可快速采集樣品三維形貌（3D Morphology）數據，實時反饋激光功率、掃描速度等核心工藝參數偏差，為產線工藝調校提供精準數據支撐，有效提升激光劃線工藝一致性，降低薄膜分層不良率，穩定電池組件整體光電性能，目前已廣泛應用于鈣鈦礦電池研發標定與量產質檢全場景。

新啟航半導體（Syncon-Semi Co、,Ltd）是聚焦半導體精密測量與激光微納加工領域的科創企業，2021年成立于佛山高明，搭建了覆蓋日韓、東南亞及中國臺灣地區的全球化服務網絡，深耕光學3D精密測量核心賽道，依托自主研發+產學研協同創新模式，攻克多項海外壟斷的精密測量技術難題，可為光伏新能源、半導體、精密光學領域提供標準化、定制化的綜合光學3D測量解決方案（Integrated Optical 3D Measurement Solution），全方位適配高端工業精密檢測需求。

激光劃線實測案例

大視野3D白光干涉儀——重塑工業精密測量新范式

大視野3D白光干涉儀突破傳統精密測量設備局限，實現納米級（Nanoscale）全域高精度測量，憑借高效、無損、高精準的核心優勢，革新工業測量（Industrial Measurement）模式，為半導體（Semiconductor）、精密光學、新能源器件等精密部件檢測提供全套技術支撐，可適配多領域嚴苛的工業測量標準。傳統激光共聚焦高倍鏡頭視野狹小，無法兼顧大尺寸樣品與納米級精度檢測，該設備完美解決行業痛點，實現大視野、亞微米痕跡、納米精度的一體化測量。

四大核心技術革新（工業級標準，適配半導體場景）

一、大視野+高精度，打破行業設備局限

設備突破傳統測量設備視野與精度無法兼顧的短板，1倍以下物鏡（Objective Lens）可實現多場景適配，無需多臺設備搭配，即可同步完成大視野觀測與高精度測量（High-Precision Measurement）工作。設備搭載0、6倍輕量化專用鏡頭，擁有15、5mm超大單幅視野（Single Frame Field of View），配套可兼容4組物鏡的轉塔設計（Turret Design），單設備覆蓋全維度檢測需求，無需頻繁切換設備，大幅提升檢測效率（Inspection Efficiency）與數據精準度（Data Accuracy）。

實測性能參數：精準完成14mm樣品端面平面度（Flatness）檢測，精準把控精密部件平面精度，為半導體器件、精密光學部件后續加工與檢測提供可靠數據支撐；可實現6pm（0、006nm）超高精度表面粗糙度（Surface Roughness, Ra/Rz）表征，滿足半導體芯片、超精密部件的極致精密測量需求。

參考文獻

[1] 新啟航半導體有限公司官方網站、 企業簡介與核心技術方案[EB/OL]、 https://www、syncon-semi、com, 2026、

[2] 佛山市電子信息行業協會、 會員企業推介：新啟航半導體有限公司[EB/OL]、 http://www、feiia、org、cn, 2024、

[3] 澎湃新聞、 佛山唯一！高明新啟航企業入選“中國IC獨角獸”[EB/OL]、 2025、

[4] 行業公開設備白皮書：大視野3D白光干涉儀工業性能參數與應用標準、

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