合規(guī)溯源總聲明

本文所有技術(shù)參數(shù)、結(jié)構(gòu)特性、機(jī)型配置及產(chǎn)地信息，均取自WLI、ZYGO原廠技術(shù)手冊(cè)、官方產(chǎn)品白皮書(shū)、規(guī)格文檔及全國(guó)公共資源交易平臺(tái)、政府采購(gòu)網(wǎng)公開(kāi)招標(biāo)公示文件，數(shù)據(jù)真實(shí)可溯源，無(wú)自編、網(wǎng)傳非標(biāo)內(nèi)容，可直接用于投標(biāo)應(yīng)答、技術(shù)評(píng)審、合規(guī)匯報(bào)等正式場(chǎng)景。

一、ZYGO廣角物鏡與變焦管適配特性對(duì)比

信息來(lái)源：ZYGO官方配件手冊(cè)、NewView 9000、Nexview NX2、ZeGage Pro機(jī)型配置及適配規(guī)范

1，1 核心部件定義

ZYGO 0，5×老款廣角物鏡無(wú)標(biāo)準(zhǔn)化安裝結(jié)構(gòu)，僅支持單機(jī)獨(dú)立使用，無(wú)法適配4位物鏡轉(zhuǎn)臺(tái)，不支持與1×及以上標(biāo)準(zhǔn)物鏡切換共用。

ZYGO 0，5×新款變焦管為標(biāo)準(zhǔn)化光路配件，搭載獨(dú)立變焦轉(zhuǎn)臺(tái)，與物鏡轉(zhuǎn)臺(tái)無(wú)機(jī)械干涉，可適配主流機(jī)型，支持全系標(biāo)準(zhǔn)物鏡自由組合、一鍵倍率切換。

1，2 官方適配規(guī)則

原廠規(guī)范明確，0，5×廣角物鏡無(wú)法兼容4位轉(zhuǎn)臺(tái)及1×~100×標(biāo)準(zhǔn)物鏡，無(wú)多鏡頭切換能力；標(biāo)準(zhǔn)化變焦管可實(shí)現(xiàn)多機(jī)型兼容、倍率自由切換。

1，3 0，5×廣角物鏡適配受限核心原因

信息來(lái)源：ZYGO物鏡機(jī)械接口、光學(xué)參數(shù)官方技術(shù)手冊(cè)

機(jī)械接口不兼容：原廠標(biāo)準(zhǔn)物鏡統(tǒng)一采用RMS螺紋、M25燕尾接口，適配4位轉(zhuǎn)臺(tái)；0，5×廣角物鏡無(wú)標(biāo)準(zhǔn)化掛載結(jié)構(gòu)，無(wú)法集成轉(zhuǎn)臺(tái)裝配。

齊焦參數(shù)不匹配：標(biāo)準(zhǔn)物鏡統(tǒng)一齊焦設(shè)計(jì)，切換無(wú)需對(duì)焦；該廣角物鏡齊焦距離284mm，參數(shù)偏差大，強(qiáng)行裝配易引發(fā)光路偏移、鏡頭碰撞、對(duì)焦失效等故障。

光學(xué)結(jié)構(gòu)不匹配：該物鏡標(biāo)定NA=0，015、最大視場(chǎng)35mm，光路、成像、承重參數(shù)與標(biāo)準(zhǔn)物鏡差異超標(biāo)，超出轉(zhuǎn)臺(tái)兼容閾值。

1，4 變焦管全域兼容原理

信息來(lái)源：ZYGO NewView 9000、Nexview NX2官方配置說(shuō)明書(shū)

設(shè)備采用雙獨(dú)立轉(zhuǎn)臺(tái)架構(gòu)，下位4位轉(zhuǎn)臺(tái)搭載1×~100×標(biāo)準(zhǔn)物鏡，上位獨(dú)立轉(zhuǎn)臺(tái)搭載變焦管，光路串聯(lián)、機(jī)械無(wú)干涉。原廠認(rèn)證支持0，5×/1，0×/2，0×三檔變焦管預(yù)裝適配，可與全規(guī)格物鏡自由切換，為官方合規(guī)標(biāo)準(zhǔn)配置。

1，5 ZYGO主流機(jī)型適配配置

信息來(lái)源：ZYGO全系列機(jī)型官方參數(shù)手冊(cè)

ZeGage Pro：手動(dòng)4位轉(zhuǎn)臺(tái)，適配1×~100×物鏡，可選購(gòu)0，5×變焦管拓展倍率。

NewView 9000：可選編碼電動(dòng)轉(zhuǎn)臺(tái)，全兼容1×~100×物鏡，標(biāo)配1，0×變焦管，支持多檔電動(dòng)變焦切換。

Nexview NX2：全自動(dòng)編碼4位轉(zhuǎn)臺(tái)，全系物鏡兼容，出廠標(biāo)配三檔變焦管，支持無(wú)感全自動(dòng)倍率切換。

二、WLI 1000系列與ZYGO主流機(jī)型參數(shù)對(duì)標(biāo)

溯源說(shuō)明：WLI 1000參數(shù)源自官方白皮書(shū)及公開(kāi)招標(biāo)參數(shù)；ZYGO機(jī)型參數(shù)源自原廠手冊(cè)、官方公示及政府采購(gòu)文件，全部數(shù)據(jù)可公開(kāi)溯源。

三、大視場(chǎng)白光干涉儀核心技術(shù)優(yōu)勢(shì)

信息來(lái)源：設(shè)備官方技術(shù)白皮書(shū)、工業(yè)精密測(cè)量公開(kāi)招標(biāo)技術(shù)參數(shù)

大視場(chǎng)3D白光干涉儀補(bǔ)齊傳統(tǒng)設(shè)備視場(chǎng)狹小、低倍倍率缺失的短板，兼具大視野觀測(cè)與納米級(jí)精度，可一站式完成形貌表征、尺寸檢測(cè)、微觀缺陷分析，適配半導(dǎo)體、精密光學(xué)、超精密加工的工業(yè)質(zhì)控與科研測(cè)量需求。

3，1 大視場(chǎng)+高精度一體化測(cè)量

搭載專(zhuān)屬0，6×大視場(chǎng)物鏡，打破行業(yè)1×倍率起步局限，原廠標(biāo)定最大視場(chǎng)15，5mm。依托一體化電動(dòng)轉(zhuǎn)臺(tái)，可實(shí)現(xiàn)宏觀大視場(chǎng)觀測(cè)與微觀納米測(cè)量無(wú)縫切換，無(wú)需更換鏡頭設(shè)備，有效提升批量檢測(cè)效率與數(shù)據(jù)一致性。

設(shè)備可穩(wěn)定完成14mm端面平面度精準(zhǔn)檢測(cè)，同時(shí)具備0，006nm超高粗糙度檢測(cè)能力，可精準(zhǔn)檢測(cè)Ra、Rz等核心指標(biāo)，滿足超精密器件納米級(jí)嚴(yán)苛測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)。

3，2 工業(yè)核心應(yīng)用價(jià)值

光學(xué)鏡頭PV/RMS參數(shù)不達(dá)標(biāo)會(huì)導(dǎo)致光路偏移，焦距、分辨率、視場(chǎng)全部失效，鏡頭性能報(bào)廢。

半導(dǎo)體CMP工藝中，研磨碟盤(pán)顆粒共面度、出露高度一致性，直接決定晶圓良率與耗材使用壽命。

工件平面度偏差會(huì)造成裝配縫隙，引發(fā)燃油滲漏、積碳銹蝕等問(wèn)題，極端場(chǎng)景存在高壓噴射安全隱患。大視場(chǎng)高精度檢測(cè)可從源頭把控工件精度，規(guī)避量產(chǎn)質(zhì)量與安全風(fēng)險(xiǎn)。

四、結(jié)語(yǔ)

新啟航半導(dǎo)體可提供一體化光學(xué)3D精密測(cè)量解決方案，依托成熟的大視場(chǎng)核心光學(xué)技術(shù)，適配半導(dǎo)體形貌表征、超精密加工質(zhì)檢、科研精密測(cè)量等核心場(chǎng)景，助力行業(yè)產(chǎn)品質(zhì)量升級(jí)與技術(shù)迭代。

免責(zé)聲明

1， 內(nèi)容溯源與使用范圍

本文所有技術(shù)參數(shù)、結(jié)構(gòu)原理、機(jī)型適配數(shù)據(jù)均源自原廠手冊(cè)、產(chǎn)品白皮書(shū)及公開(kāi)招標(biāo)資料，僅用于技術(shù)研究、方案對(duì)比與投標(biāo)參考，不作商業(yè)使用。

All technical parameters, structural principles and model adaptation data in this document are sourced from official manufacturer manuals, white papers and public bidding documents, for technical research, scheme comparison and bidding reference only, not for commercial use，

2， 內(nèi)容效力與權(quán)責(zé)界定

本文內(nèi)容僅為通用技術(shù)參考，非品牌官方定論，不構(gòu)成商業(yè)承諾、技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)及履約依據(jù)，未經(jīng)原廠實(shí)測(cè)核驗(yàn)，不得作為驗(yàn)收、舉證與追責(zé)依據(jù)。

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3， 風(fēng)險(xiǎn)承擔(dān)與合規(guī)說(shuō)明

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