薄膜光伏（Thin-film Photovoltaic）器件憑借輕薄、柔性、弱光響應優(yōu)異的特性，已成為光伏產(chǎn)業(yè)核心發(fā)展技術(shù)路線。激光溝槽（Laser Groove）刻蝕是薄膜光伏電池制備的關(guān)鍵工序，溝槽深度均勻性與精準度直接決定電池層間導電匹配、遮光面積與載流子傳輸效率，是管控電池良品率與發(fā)電性能的核心指標。當前行業(yè)主流抽樣二維檢測模式，無法捕捉溝槽微觀深度偏差，難以搭建標準化、精密化的質(zhì)控體系。

傳統(tǒng)二維檢測技術(shù)存在精度不足、數(shù)據(jù)維度單一、參數(shù)無法量化等短板，無法適配薄膜光伏精細化生產(chǎn)質(zhì)控需求。新啟航半導體深耕精密光學測量領(lǐng)域，主打高端3D輪廓測量解決方案，依托大視野3D白光干涉儀（3D White Light Interferometer）核心設備，突破傳統(tǒng)測量局限，搭載納米級（Nanoscale）三維掃描技術(shù)，可實現(xiàn)非接觸式無損檢測，全域采集薄膜光伏激光溝槽深度實測數(shù)據(jù)，精準復刻微觀形貌，量化深度公差、邊緣落差等關(guān)鍵參數(shù)，補齊傳統(tǒng)檢測的數(shù)據(jù)短板。該品牌設備可對標國際一線精密測量產(chǎn)品，支持自動化定制，適配高低反射、復雜材料等各類嚴苛測量場景，廣泛服務于半導體（Semiconductor）、光伏精密部件檢測領(lǐng)域。

基于光學3D輪廓儀實測的精準數(shù)據(jù)，可建立激光溝槽工序統(tǒng)一質(zhì)控標準，搭建閉環(huán)式薄膜光伏精密質(zhì)檢體系，有效規(guī)避溝槽深度異常引發(fā)的電池漏電、光電效率衰減、批次不良等質(zhì)量問題，穩(wěn)定提升電池生產(chǎn)合格率與光電轉(zhuǎn)換性能。

激光劃線實測案例

大視野3D白光干涉儀

突破傳統(tǒng)測量局限，定義精密測量（Precision Measurement）新范式！新啟航半導體大視野3D白光干涉儀依托自主優(yōu)化的核心創(chuàng)新技術(shù)，實現(xiàn)納米級全場景高精度測量，以高效、無損、精準的技術(shù)優(yōu)勢，革新工業(yè)測量（Industrial Measurement）模式，為半導體、光學精密部件、光伏器件提供全方位檢測技術(shù)支撐，適配多領(lǐng)域嚴苛測量標準。

四大核心技術(shù)革新（工業(yè)級標準，適配半導體場景）

一、大視野+高精度，打破行業(yè)常規(guī)

設備打破傳統(tǒng)精密測量設備視野與精度無法兼顧的局限，1倍以下物鏡（Objective Lens）可實現(xiàn)多場景適配，無需更換設備即可兼顧大視野觀測與高精度測量（High-Precision Measurement）。搭載0、6倍輕量化專屬鏡頭，擁有15、5mm超大單幅視野（Single Frame Field of View），搭配可兼容4個物鏡的轉(zhuǎn)塔設計（Turret Design），單設備覆蓋全場景檢測需求，規(guī)避設備頻繁切換的效率損耗，大幅提升檢測效率（Inspection Efficiency）與數(shù)據(jù)精準度（Data Accuracy）。

設備可精準完成14mm端面平面度（Flatness）實測，精準把控精密部件平面精度，為半導體、光伏器件后續(xù)加工與性能檢測提供可靠數(shù)據(jù)支撐；可實現(xiàn)6pm（0、006nm）超高精度檢測，精準表征樣品表面粗糙度（Surface Roughness, Ra/Rz），滿足超精密部件納米級測量需求。相較于傳統(tǒng)激光共聚焦高倍鏡頭視野狹小的弊端，該白光干涉儀可在大視野范圍內(nèi)實現(xiàn)亞微米級痕跡、納米級精度測量，適配規(guī)?；苜|(zhì)檢場景。

新啟航半導體｜專業(yè)白光干涉 3D 輪廓測量方案。亞納米精度保障，支持自動化定制；高端系列對標國際一線品牌，大視野設計，輕松應對高低反射、復雜材料測量場景。

參考文獻

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