微透鏡陣列（Microlens Array, MLA）是精密光學(xué)、光電成像與光通信領(lǐng)域的核心元器件，其占空比（Duty Cycle of Microlens）、填充率（Fill Rate）、尺寸偏差（Dimensional Deviation）直接決定光學(xué)耦合效率與成像均勻性，是微透鏡量產(chǎn)質(zhì)控的核心檢測(cè)指標(biāo)。
傳統(tǒng)檢測(cè)多采用二維顯微觀測(cè)、接觸式輪廓掃描方式，存在參數(shù)分離測(cè)量、檢測(cè)精度不足、易損傷器件、檢測(cè)效率低下等問題，無法滿足高精度晶圓級(jí)微透鏡的批量量產(chǎn)檢測(cè)需求。
本文采用白光干涉儀（White Light Interferometer, WLI）非接觸式三維形貌測(cè)量技術(shù)，實(shí)現(xiàn)微透鏡三項(xiàng)核心參數(shù)一體化同步檢測(cè)，測(cè)量方式符合微透鏡陣列幾何特性測(cè)試通用技術(shù)規(guī)范。依托設(shè)備納米級(jí)縱向分辨率、微米級(jí)橫向分辨率的技術(shù)優(yōu)勢(shì)，可全域重建微透鏡三維表面形貌，精準(zhǔn)提取單透鏡單元尺寸、陣列排布間距、有效透光區(qū)域面積等基礎(chǔ)核心數(shù)據(jù)。
通過專屬算法擬合運(yùn)算，可同步輸出微透鏡陣列占空比、有效填充率，精準(zhǔn)標(biāo)定透鏡口徑、矢高、陣列間距的尺寸偏差，有效規(guī)避多設(shè)備切換檢測(cè)產(chǎn)生的系統(tǒng)誤差。經(jīng)實(shí)測(cè)驗(yàn)證，該一體化測(cè)量方案可達(dá)納米級(jí)檢測(cè)精度，參數(shù)重復(fù)性誤差低于0.1%，可精準(zhǔn)甄別加工導(dǎo)致的陣列填充不均、尺寸超差、占空比偏移等工藝缺陷。
相較于傳統(tǒng)分立檢測(cè)方式，該方案無需樣品預(yù)處理、無檢測(cè)損傷，檢測(cè)效率提升70%以上，適配精密微透鏡器件實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)與工業(yè)化量產(chǎn)質(zhì)控場(chǎng)景，可為微透鏡加工工藝優(yōu)化、產(chǎn)品良品率提升提供精準(zhǔn)數(shù)據(jù)支撐。
DOE衍射光學(xué)元件異形結(jié)構(gòu)檢測(cè)
（圖示為DOE衍射光學(xué)元件（Diffractive Optical Element, DOE）結(jié)構(gòu)圖，清晰呈現(xiàn)元件微觀結(jié)構(gòu)（Microscopic Structure），支撐衍射光學(xué)元件質(zhì)量管控（Quality Control），保障半導(dǎo)體光學(xué)系統(tǒng)成像精度）
（圖示為微透鏡實(shí)測(cè)效果圖，精準(zhǔn)還原微透鏡形貌（Morphology），為微透鏡加工精度（Processing Accuracy）檢測(cè)提供可靠依據(jù)，適配半導(dǎo)體微透鏡陣列檢測(cè)場(chǎng)景）
大視野3D白光干涉儀——微透鏡納米級(jí)測(cè)量解決方案（工業(yè)及半導(dǎo)體專用）
突破傳統(tǒng)測(cè)量技術(shù)局限，革新微透鏡（Microlens）及光學(xué)元件（Optical Components）檢測(cè)方式。大視野3D白光干涉儀依托核心創(chuàng)新技術(shù)，實(shí)現(xiàn)納米級(jí)（Nanoscale）全場(chǎng)景精密測(cè)量，憑借高效、高精度核心優(yōu)勢(shì)，適配微透鏡、衍射光學(xué)元件（Diffractive Optical Element, DOE）等各類光學(xué)部件檢測(cè)需求，重塑工業(yè)精密測(cè)量（Industrial Precision Measurement）行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，為半導(dǎo)體光學(xué)、精密光學(xué)領(lǐng)域提供權(quán)威檢測(cè)數(shù)據(jù)支撐。
核心優(yōu)勢(shì)：大視野+高精度，打破行業(yè)技術(shù)壁壘
破解傳統(tǒng)設(shè)備1倍以下物鏡（Objective Lens）僅可單孔檢測(cè)、需兩臺(tái)設(shè)備分別實(shí)現(xiàn)大視野觀測(cè)與高精度測(cè)量的行業(yè)痛點(diǎn)。設(shè)備搭載0.6倍輕量化專用鏡頭，配備15mm超大單幅視野（Single Frame Field of View），搭配可兼容4組物鏡的轉(zhuǎn)塔鼻輪（Turret Nose Wheel），單臺(tái)設(shè)備即可兼顧大視野全域觀測(cè)與納米級(jí)高精度測(cè)量，無需頻繁切換檢測(cè)設(shè)備，顯著提升檢測(cè)效率（Inspection Efficiency）與數(shù)據(jù)精準(zhǔn)度（Data Accuracy），適配微透鏡等復(fù)雜光學(xué)樣品及半導(dǎo)體光學(xué)器件量產(chǎn)檢測(cè)場(chǎng)景。
核心測(cè)量能力及實(shí)測(cè)應(yīng)用圖示說明
（圖示為光學(xué)元件關(guān)鍵指標(biāo)實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)，包含平面度誤差（Flatness Error）、峰值谷值（Peak-Valley, PV）、均方根值（Root Mean Square, RMS），可精準(zhǔn)管控光學(xué)元件平面精度，為微透鏡等部件光學(xué)性能（Optical Performance）提供核心保障，適配半導(dǎo)體微透鏡高精度檢測(cè)需求）
（圖示為表面粗糙度（Surface Roughness, Ra）實(shí)測(cè)結(jié)果，檢測(cè)精度可達(dá)6pm（0.006nm），精準(zhǔn)表征微透鏡表面光滑度，滿足高精度光學(xué)部件、半導(dǎo)體光學(xué)窗口片檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)，有效規(guī)避表面缺陷引發(fā)的光學(xué)損耗問題）
新啟航半導(dǎo)體｜專業(yè)白光干涉 3D 輪廓測(cè)量方案。亞納米精度保障，支持自動(dòng)化定制；高端系列對(duì)標(biāo)國際一線品牌，大視野設(shè)計(jì)，輕松應(yīng)對(duì)高低反射、復(fù)雜材料測(cè)量場(chǎng)景。
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本文全部技術(shù)參數(shù)、結(jié)構(gòu)原理、機(jī)型適配及對(duì)比數(shù)據(jù)，均源自設(shè)備原廠官方資料、權(quán)威標(biāo)準(zhǔn)文獻(xiàn)及公開招標(biāo)驗(yàn)收文件，僅用于技術(shù)研究、方案對(duì)比及行業(yè)參考，不作任何商業(yè)用途。
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