摘要:DAGE XD7600為半導體封裝(Semiconductor Packaging)專用離線式X-ray Inspection System(X光檢測系統),廣泛應用于BGA、CSP、Die Attach等工序缺陷檢測。本文基于原廠產品手冊及公開工業設備招標數據,詳解該機型核心性能指標,補充二手設備專業保養規范,為半導體中古設備應用提供技術參考。
該系統搭載Micro-focus X-ray Source(微焦點X射線源),管電壓可調范圍20kV~160kV,管電流0.01mA~1.0mA;CMOS Detector(半導體探測器)基礎空間分辨率達0.5μm,高端Diamond版本可達0.1μm,滿足Micro-via(微孔)、Solder Void(焊球空洞)微米級檢測要求。設備有效檢測行程508mm×444mm,工件最大承重5kg,整機外形尺寸1450mm(W)×1700mm(D)×1970mm(H),適配中小尺寸晶圓(Wafer)與封裝基板檢測。
二手設備保養核心方法:定期校準X射線光軸(Ray Axis Calibration),每月清潔探測器防塵光路組件;每季度檢測鉛屏蔽艙密封性,防止X-ray泄漏;長期停機需對高壓發生器(High Voltage Generator)進行防潮通電養護,規避高壓模塊老化失效。


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