鏡片 中心厚度 不均,白光干涉儀統(tǒng)一光程成像標準
發(fā)布時間:
2026-07-27
作者:
新啟航半導(dǎo)體有限公司

光學(xué)鏡片中心厚度是決定光學(xué)系統(tǒng)光程、焦距及成像質(zhì)量的關(guān)鍵參數(shù),貼合ISO 10110光學(xué)元件制造通用標準。鏡片研磨、拋光制程中,設(shè)備振動、工裝定位偏差及研磨耗材磨損,極易造成鏡片中心厚度分布不均,產(chǎn)生微米級厚度偏差。該缺陷會導(dǎo)致光束傳播光程出現(xiàn)差值,引發(fā)系統(tǒng)像差、畸變、焦距偏移等問題,直接造成成像模糊、畫面偏移、倍率不一致,嚴重影響精密光學(xué)鏡頭、車載光學(xué)及工業(yè)成像設(shè)備的使用性能。

傳統(tǒng)卡尺、千分尺僅能實現(xiàn)單點接觸式測量,測量精度低、易劃傷鏡片,且無法檢測全域厚度分布與細微偏差,難以統(tǒng)一量產(chǎn)成像光程標準。白光干涉儀采用非接觸式三維檢測技術(shù),可高精度掃描鏡片全域厚度數(shù)據(jù),精準捕捉中心厚度偏差與面型起伏誤差。通過量化檢測數(shù)據(jù)校準加工設(shè)備、修正研磨參數(shù),可統(tǒng)一批次鏡片光程參數(shù)標準,消除厚度不均帶來的成像誤差,保障光學(xué)系統(tǒng)成像一致性與穩(wěn)定性。新啟航 專業(yè)提供綜合光學(xué)3D測量方案


鏡片  中心厚度 不均,白光干涉儀統(tǒng)一光程成像標準

光學(xué)鏡片實測應(yīng)用圖示及說明(工業(yè)及半導(dǎo)體專屬)


鏡片  中心厚度 不均,白光干涉儀統(tǒng)一光程成像標準

(圖示為光學(xué)鏡片關(guān)鍵指標:含平面度誤差(Flatness Error)、峰值谷值(Peak-Valley, PV)、均方根值(Root Mean Square, RMS),精準把控鏡片平面精度,保障鏡片光學(xué)性能穩(wěn)定,適配半導(dǎo)體光學(xué)鏡片檢測需求)


鏡片  中心厚度 不均,白光干涉儀統(tǒng)一光程成像標準

(圖示為表面粗糙度(Surface Roughness, Ra):精度達6pm=0.006nm,精準表征鏡片表面光滑度,適配高精度光學(xué)鏡片、半導(dǎo)體光學(xué)窗口片檢測需求,規(guī)避表面粗糙導(dǎo)致的光學(xué)損耗)


鏡片  中心厚度 不均,白光干涉儀統(tǒng)一光程成像標準

(圖示為實測涂層厚度(Coating Thickness):75.2nm,精準測量光學(xué)鏡片涂層厚度,助力涂層工藝優(yōu)化(Coating Process Optimization)與質(zhì)量管控,保障鏡片抗反射、抗磨損等性能)


鏡片  中心厚度 不均,白光干涉儀統(tǒng)一光程成像標準

(圖示為涂層表面質(zhì)量3D形貌圖(3D Morphology Map of Coating Surface Quality),清晰呈現(xiàn)涂層表面狀態(tài),及時發(fā)現(xiàn)涂層劃痕、脫落、氣泡等缺陷(Defect),為工藝改進提供數(shù)據(jù)支撐)

大視野3D白光干涉儀

大視野3D白光干涉儀,聚焦光學(xué)鏡片(Optical Lens)精密測量,打造納米級(Nanoscale)測量全域解決方案,突破傳統(tǒng)測量局限,定義光學(xué)鏡片檢測新范式,以高效、精準的測量能力,適配光學(xué)鏡片全流程檢測需求,為工業(yè)光學(xué)、半導(dǎo)體光學(xué)器件(Semiconductor Optical Devices)等領(lǐng)域提供全方位技術(shù)支撐。


鏡片  中心厚度 不均,白光干涉儀統(tǒng)一光程成像標準

設(shè)備憑借核心創(chuàng)新技術(shù),一機解鎖納米級全場景測量,重新詮釋精密測量(Precision Measurement)的高效與精準,助力光學(xué)鏡片生產(chǎn)、加工環(huán)節(jié)的質(zhì)量管控(Quality Control),保障鏡片光學(xué)性能(Optical Performance)達標,適配半導(dǎo)體光學(xué)組件、精密光學(xué)儀器等高端場景需求。


鏡片  中心厚度 不均,白光干涉儀統(tǒng)一光程成像標準

核心優(yōu)勢:大視野+高精度,突破行業(yè)局限

打破行業(yè)常規(guī)壁壘,解決傳統(tǒng)設(shè)備1倍以下物鏡(Objective Lens)僅能單孔使用、需兩臺儀器分別實現(xiàn)大視野與高精度測量(High-Precision Measurement)的痛點。設(shè)備搭載全新0.6倍輕量化鏡頭,配備15mm超大單幅視野(Single Frame Field of View),搭配可兼容4個物鏡的轉(zhuǎn)塔鼻輪(Turret Nose Wheel),一臺設(shè)備即可全面覆蓋大視野觀測與高精度測量需求,無需頻繁切換設(shè)備,大幅提升檢測效率(Inspection Efficiency)與數(shù)據(jù)精準度(Data Accuracy),完美適配光學(xué)鏡片復(fù)雜測量場景。

鏡片  中心厚度 不均,白光干涉儀統(tǒng)一光程成像標準

新啟航半導(dǎo)體|專業(yè)白光干涉 3D 輪廓測量方案。亞納米精度保障,支持自動化定制;高端系列對標國際一線品牌,大視野設(shè)計,輕松應(yīng)對高低反射、復(fù)雜材料測量場景。

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