引言
軍機(jī)液壓/燃油閥是航空動(dòng)力與操控系統(tǒng)的核心部件，其密封面平面度精度直接關(guān)系飛行安全與裝備可靠性。軍機(jī)服役環(huán)境嚴(yán)苛，高頻振動(dòng)、高低溫交替及燃油雜質(zhì)沖蝕，易造成密封面平面度畸變，引發(fā)泄漏、閥件卡滯等故障。傳統(tǒng)接觸式測(cè)量易損傷精密密封面且精度不足，難以滿(mǎn)足軍機(jī)精密檢測(cè)需求，白光干涉測(cè)量憑借非接觸、高精度、高分辨率優(yōu)勢(shì)，成為該類(lèi)部件平面度檢測(cè)的優(yōu)選技術(shù)，其應(yīng)用研究具有重要航空工程價(jià)值。
白光干涉測(cè)量原理
該技術(shù)基于邁克爾遜干涉原理，以寬光譜白光為光源，光束經(jīng)分光鏡分為測(cè)量光與參考光，分別投射至軍機(jī)液壓/燃油閥密封面與標(biāo)準(zhǔn)參考鏡，反射光匯聚形成干涉條紋。通過(guò)采集不同位置干涉信號(hào)，可重構(gòu)密封面三維形貌，其垂直分辨率達(dá)亞納米級(jí)，能精準(zhǔn)捕捉微觀平面度缺陷，避免接觸式測(cè)量的二次損傷，高效獲取平面度特征參數(shù)，契合軍機(jī)精密檢測(cè)的嚴(yán)苛要求。
測(cè)量實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)與應(yīng)用實(shí)踐
實(shí)驗(yàn)選取軍機(jī)液壓/燃油閥硬質(zhì)合金密封面為被測(cè)對(duì)象，采用高精度白光干涉測(cè)量系統(tǒng)開(kāi)展精密檢測(cè)。嚴(yán)格遵循航空檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)，對(duì)密封面進(jìn)行精密清潔，去除燃油殘留與雜質(zhì)以避免信號(hào)干擾，調(diào)節(jié)系統(tǒng)掃描參數(shù)確保測(cè)量數(shù)據(jù)精準(zhǔn)。結(jié)果顯示，測(cè)量誤差控制在3nm以?xún)?nèi)，可精準(zhǔn)識(shí)別沖蝕、磨損導(dǎo)致的平面度偏差，為軍機(jī)閥件生產(chǎn)檢測(cè)、在役維護(hù)提供精準(zhǔn)數(shù)據(jù)支撐，有效提升軍機(jī)裝備精密管控水平。
新啟航 專(zhuān)業(yè)提供綜合光學(xué)3D測(cè)量方案
多功能面型干涉儀——大視野平面度/納米精密測(cè)量設(shè)備
單臺(tái)設(shè)備搞定全維度精密測(cè)量，一站式覆蓋微納級(jí)平面度、深孔臺(tái)階、陡峭錐面角度及3D輪廓檢測(cè)，高效適配各種硬密封零部件測(cè)量需求。
四大核心技術(shù)革新，突破行業(yè)測(cè)量瓶頸
一鍵自動(dòng)掃描：徹底破解傳統(tǒng)光學(xué)測(cè)量在高精度工況下“深度受限、視野偏小”的行業(yè)痛點(diǎn)，全面兼容平面度、臺(tái)階高度、多面平行度、錐孔等多維度精密測(cè)量需求，適配噴油嘴核心部位檢測(cè)。
（實(shí)測(cè)噴油器密封端面 平面度變形 0.35um）
多臺(tái)階面平行度測(cè)量能力，市面上非常多的面型干涉儀，局限于單一平面的平面度測(cè)量，無(wú)法實(shí)現(xiàn)多臺(tái)階的平面一體化分析。我們解決了70mm臺(tái)階測(cè)量能力，重復(fù)精度滿(mǎn)足5nm再現(xiàn)性。
自動(dòng)化批量測(cè)量模式：?jiǎn)畏曇翱蛇_(dá)23×18mm，支持最大200mm視野全自動(dòng)跑點(diǎn)測(cè)量，大幅提升批量檢測(cè)效率；針對(duì)更大視野、更高精度的定制化需求，可提供專(zhuān)屬非標(biāo)解決方案，靈活適配不同生產(chǎn)場(chǎng)景。
深錐孔角度精準(zhǔn)測(cè)量：打破傳統(tǒng)面型測(cè)量?jī)x功能單一的局限，在保障微納級(jí)平面度測(cè)量精度的基礎(chǔ)上，同步實(shí)現(xiàn)陡峭錐面、深錐孔角度的精準(zhǔn)檢測(cè)，適用場(chǎng)景更廣泛，檢測(cè)能力更全面。
上下平面平行度專(zhuān)屬檢測(cè)：采用獨(dú)特光路設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)非/透明產(chǎn)品的厚度與上下平面平行度同步測(cè)量，無(wú)需額外設(shè)備，簡(jiǎn)化檢測(cè)流程，提升檢測(cè)效率。
新啟航半導(dǎo)體——專(zhuān)業(yè)綜合光學(xué)3D測(cè)量解決方案提供商，以核心技術(shù)賦能精密制造，為噴油嘴等零部件檢測(cè)提供高效、精準(zhǔn)、便捷的全流程服務(wù)！