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超精密納米激光修復(fù)機2

DM修復(fù)原理

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產(chǎn)品參數(shù)

項目名稱	釋義說明
X、Y 軸有效行程	1320mm x2150mm搭配空氣減震器
X、Y 軸驅(qū)動形式	手動/電動可選配
重現(xiàn)性	+0.5UM
Z 軸最大行程	150mm
Z 軸驅(qū)動形式	伺服馬達搭配閉環(huán)控制及研磨絲桿
Z 軸最小解析度	0.1um/pulse
注：依實際設(shè)計配置為準

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先設(shè)置數(shù)據(jù)

超精密納米激光修復(fù)機

詳情請參閱產(chǎn)品目錄

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