傳統截面測量易因樣品差異造成取樣偏移，數據偏差大；面臺階測量可有效杜絕此類誤差。

傳統大視野面測受光學限制，XY 精度難以兼顧，加裝光譜模塊即可完美兼顧粗糙度測量。

納米精密檢測設備搭載自動點位測量與智能OK NG判定功能，大幅提速，適配批量全檢作業。

專屬獨特光路架構，非透明樣品支持上下表面同時掃描，可精準檢測厚度均勻性與面平行度