測量項目
先設(shè)置數(shù)據(jù)
顯微3D白光干涉儀
顯微3D白光干涉儀

讓白光干涉儀操作更簡單，更智能

·  14mm 大視野，多物鏡組合，兼顧廣視觀測與精密測量

·  一鍵自動調(diào)平對焦，長距測量，適配深孔高落差檢測

·  干涉解析 + 真彩成像，細(xì)節(jié)清晰，測量直觀全面

·  一鍵全域粗糙度檢測，量程廣，適配各類工件

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顯微3D白光干涉儀

14mm 超大單幅視野，0.6 倍輕量化鏡頭 + 4 物鏡轉(zhuǎn)塔，一機覆蓋大視場觀測與高精度測量全需求。


顯微3D白光干涉儀

搭載一鍵自動傾斜調(diào)平，硬件追蹤 + 算法對焦雙閉環(huán)，操作極簡；搭配 100mm 連續(xù)測量，輕松實現(xiàn)深凹坑、深孔等高落差結(jié)構(gòu)的測量。


顯微3D白光干涉儀

全域粗糙度一鍵測量，量程跨度廣，可精準(zhǔn)檢測從超光滑鏡面到增材高粗糙工件的全范圍表面粗糙度。


顯微3D白光干涉儀

全域粗糙度一鍵測量，量程跨度廣，可精準(zhǔn)檢測從超光滑鏡面到增材高粗糙工件的全范圍表面粗糙度。

顯微3D白光干涉儀

保留黑白干涉解析能力，搭載 RGB 真彩色成像；還原樣品形貌與色彩細(xì)節(jié)，測量更全面、分析更直觀。

顯微3D白光干涉儀

一鍵自動生成檢測報告，兼容 MES 系統(tǒng)，測量數(shù)據(jù)可無縫上傳對接。



顯微3D白光干涉儀

14mm 超大單幅視野，0.6 倍輕量化鏡頭 + 4 物鏡轉(zhuǎn)塔，一機覆蓋大視場觀測與高精度測量全需求。


顯微3D白光干涉儀

搭載一鍵自動傾斜調(diào)平，硬件追蹤 + 算法對焦雙閉環(huán)，操作極簡；搭配 100mm 連續(xù)測量，輕松實現(xiàn)深凹坑、深孔等高落差結(jié)構(gòu)的測量。

顯微3D白光干涉儀

全域粗糙度一鍵測量，量程跨度廣，可精準(zhǔn)檢測從超光滑鏡面到增材高粗糙工件的全范圍表面粗糙度。

顯微3D白光干涉儀

全域粗糙度一鍵測量，量程跨度廣，可精準(zhǔn)檢測從超光滑鏡面到增材高粗糙工件的全范圍表面粗糙度。

顯微3D白光干涉儀

保留黑白干涉解析能力，搭載 RGB 真彩色成像；還原樣品形貌與色彩細(xì)節(jié)，測量更全面、分析更直觀。

顯微3D白光干涉儀

一鍵自動生成檢測報告，兼容 MES 系統(tǒng)，測量數(shù)據(jù)可無縫上傳對接。


多功能面型干涉儀
多功能面型干涉儀

全新激光光學(xué)頻率梳技術(shù)

完美兼具實驗室和產(chǎn)線自動化3D測量需求

·  納米精度，200×200mm 大視野全域掃描

·  可測 70mm大臺階工件雙面平行度

·  加裝光譜模塊，同步檢測面型與粗糙度

·  自動測量智能判定，適配批量全檢

·  獨創(chuàng)光路，雙面同掃精準(zhǔn)測厚與平行度

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多功能面型干涉儀

納米精度｜200×200mm 視野，掃描成像


多功能面型干涉儀

傳統(tǒng)干涉儀受光學(xué)局限，無法對70mm臺階工件雙面同步掃描，難以測量平面平行度。

多功能面型干涉儀

傳統(tǒng)截面測量易因樣品差異造成取樣偏移，數(shù)據(jù)偏差大；面臺階測量可有效杜絕此類誤差。

多功能面型干涉儀

傳統(tǒng)大視野面測受光學(xué)限制，XY 精度難以兼顧，加裝光譜模塊即可完美兼顧粗糙度測量。

多功能面型干涉儀

納米精密檢測設(shè)備搭載自動點位測量與智能OK NG判定功能，大幅提速，適配批量全檢作業(yè)。

多功能面型干涉儀

專屬獨特光路架構(gòu)，非透明樣品支持上下表面同時掃描，可精準(zhǔn)檢測厚度均勻性與面平行度


多功能面型干涉儀

納米精度｜200×200mm 視野，掃描成像


多功能面型干涉儀

傳統(tǒng)干涉儀受光學(xué)局限，無法對70mm臺階工件雙面同步掃描，難以測量平面平行度。

多功能面型干涉儀

傳統(tǒng)截面測量易因樣品差異造成取樣偏移，數(shù)據(jù)偏差大；面臺階測量可有效杜絕此類誤差。

多功能面型干涉儀

傳統(tǒng)大視野面測受光學(xué)限制，XY 精度難以兼顧，加裝光譜模塊即可完美兼顧粗糙度測量。

多功能面型干涉儀

納米精密檢測設(shè)備搭載自動點位測量與智能OK NG判定功能，大幅提速，適配批量全檢作業(yè)。

多功能面型干涉儀

專屬獨特光路架構(gòu)，非透明樣品支持上下表面同時掃描，可精準(zhǔn)檢測厚度均勻性與面平行度

三角光學(xué)3D輪廓儀
三角光學(xué)3D輪廓儀

優(yōu)于1nm重復(fù)精度下，更高速的晶圓掃描成像，SEMI標(biāo)準(zhǔn)下，滿足各種TTV BOW WARP TIP等測量。

·  適配多種材質(zhì)工件，無需表面處理，檢測高效便捷。

·  具備亞微米高精度，大視野測量無需拼接，支持多探頭選配。

·  搭載分層掃描技術(shù)，可穿透表層精準(zhǔn)檢測內(nèi)部結(jié)構(gòu)形態(tài) 

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三角光學(xué)3D輪廓儀

高反光、漫反射工件免噴粉，無需表面處理直接掃描；散熱翅片角度測量專用，1-秒快速掃描、即刻出結(jié)果。

三角光學(xué)3D輪廓儀

透明玻璃檢測視野限制，無需拼接，三角掃描-3-秒完成-4mm-視野亞微米級測量，可按需選配探頭

三角光學(xué)3D輪廓儀

柔軟透明FPC軟板臺階測高，擺脫探針與拼接低效問題，3 秒極速掃描達亞微米精度，標(biāo)配 4mm 視野，多探頭可選.

三角光學(xué)3D輪廓儀

適配漫反射--吸光光伏片柵線檢測，2-秒實現(xiàn)高寬比測試，大視野高效排查細(xì)微工藝缺陷。

三角光學(xué)3D輪廓儀

實測三豐-516-498系列標(biāo)準(zhǔn)階差規(guī)，2μm-標(biāo)準(zhǔn)臺階清晰分辨


三角光學(xué)3D輪廓儀

搭載獨特分層算法，可穿透頂層蓋板玻璃，精準(zhǔn)掃描并分離出底層-COB-感光芯片的貼合狀態(tài)，清晰還原芯片翹曲形貌。


三角光學(xué)3D輪廓儀

高反光、漫反射工件免噴粉，無需表面處理直接掃描；散熱翅片角度測量專用，1-秒快速掃描、即刻出結(jié)果。

三角光學(xué)3D輪廓儀

透明玻璃檢測視野限制，無需拼接，三角掃描-3-秒完成-4mm-視野亞微米級測量，可按需選配探頭

三角光學(xué)3D輪廓儀

柔軟透明FPC軟板臺階測高，擺脫探針與拼接低效問題，3 秒極速掃描達亞微米精度，標(biāo)配 4mm 視野，多探頭可選.

三角光學(xué)3D輪廓儀

適配漫反射--吸光光伏片柵線檢測，2-秒實現(xiàn)高寬比測試，大視野高效排查細(xì)微工藝缺陷。

三角光學(xué)3D輪廓儀

實測三豐-516-498系列標(biāo)準(zhǔn)階差規(guī)，2μm-標(biāo)準(zhǔn)臺階清晰分辨



三角光學(xué)3D輪廓儀

搭載獨特分層算法，可穿透頂層蓋板玻璃，精準(zhǔn)掃描并分離出底層-COB-感光芯片的貼合狀態(tài)，清晰還原芯片翹曲形貌。