測量項目
先設置數據
多功能面型干涉儀
多功能面型干涉儀

全新激光光學頻率梳技術

完美兼具實驗室和產線自動化3D測量需求

·  納米精度，200×200mm 大視野全域掃描

·  可測 70mm大臺階工件雙面平行度

·  加裝光譜模塊，同步檢測面型與粗糙度

·  自動測量智能判定，適配批量全檢

·  獨創光路，雙面同掃精準測厚與平行度

查看更多

收起

多功能面型干涉儀

納米精度｜200×200mm 視野，掃描成像


多功能面型干涉儀

傳統干涉儀受光學局限，無法對70mm臺階工件雙面同步掃描，難以測量平面平行度。

多功能面型干涉儀

傳統截面測量易因樣品差異造成取樣偏移，數據偏差大；面臺階測量可有效杜絕此類誤差。

多功能面型干涉儀

傳統大視野面測受光學限制，XY 精度難以兼顧，加裝光譜模塊即可完美兼顧粗糙度測量。

多功能面型干涉儀

納米精密檢測設備搭載自動點位測量與智能OK NG判定功能，大幅提速，適配批量全檢作業。

多功能面型干涉儀

專屬獨特光路架構，非透明樣品支持上下表面同時掃描，可精準檢測厚度均勻性與面平行度


多功能面型干涉儀

納米精度｜200×200mm 視野，掃描成像


多功能面型干涉儀

傳統干涉儀受光學局限，無法對70mm臺階工件雙面同步掃描，難以測量平面平行度。

多功能面型干涉儀

傳統截面測量易因樣品差異造成取樣偏移，數據偏差大；面臺階測量可有效杜絕此類誤差。

多功能面型干涉儀

傳統大視野面測受光學限制，XY 精度難以兼顧，加裝光譜模塊即可完美兼顧粗糙度測量。

多功能面型干涉儀

納米精密檢測設備搭載自動點位測量與智能OK NG判定功能，大幅提速，適配批量全檢作業。

多功能面型干涉儀

專屬獨特光路架構，非透明樣品支持上下表面同時掃描，可精準檢測厚度均勻性與面平行度