測(cè)量項(xiàng)目
先設(shè)置數(shù)據(jù)
激光相干3D光學(xué)輪廓儀
激光相干3D光學(xué)輪廓儀

讓白光干涉儀操作更簡(jiǎn)單，更智能

·  同軸垂直掃描，避開遮擋，單幅 90mm，大視野拼接高效

·  支持 130mm深孔檢測(cè)，30:1 高徑比，±2mm精度，一次成型

·  同軸光路角度特性更優(yōu)，精準(zhǔn)測(cè)量刀具刃口 R 角與角度

·  智能擬合測(cè)算弧面 R 值，消除人工測(cè)量偏差

·  搭載旋轉(zhuǎn)掃描結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)內(nèi)孔壁面三維輪廓測(cè)量

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激光相干3D光學(xué)輪廓儀

同軸落射垂直掃描設(shè)計(jì)，有效規(guī)避樣品遮擋干擾，單幅掃描可達(dá) 90mm，大視野無(wú)縫拼接更高效。

激光相干3D光學(xué)輪廓儀

最大 130mm 深孔探測(cè)，孔徑比掃描 30 1，重復(fù)精度 ±2μm，無(wú)需 Z 軸拼接，單次掃描直接成像

激光相干3D光學(xué)輪廓儀

同軸落射光學(xué)角度性能優(yōu)于傳統(tǒng)三角成像，可清晰成像，精準(zhǔn)完成銑刀刃口鈍化 R 值與刀面角度測(cè)量。

激光相干3D光學(xué)輪廓儀

弧面 R 值測(cè)量核心難點(diǎn)為曲線自動(dòng)擬合測(cè)算半徑R,規(guī)避人工鼠標(biāo)抓取產(chǎn)生的測(cè)量誤差。


激光相干3D光學(xué)輪廓儀

傳統(tǒng)反射光路無(wú)法測(cè)量?jī)?nèi)孔垂直壁面，加裝旋轉(zhuǎn)反射掃描機(jī)構(gòu)，即可完成內(nèi)孔 3D 輪廓掃描。


激光相干3D光學(xué)輪廓儀

擁有豐富測(cè)量功能，可一站式完成平面尺寸、臺(tái)階、凸臺(tái)、深孔、凹槽、角度、弧度、平面度、平行度、粗糙度等全類型形位公差測(cè)量；簡(jiǎn)潔人性化界面，操作更簡(jiǎn)單，測(cè)量更輕松。


激光相干3D光學(xué)輪廓儀

同軸落射垂直掃描設(shè)計(jì)，有效規(guī)避樣品遮擋干擾，單幅掃描可達(dá) 90mm，大視野無(wú)縫拼接更高效。

激光相干3D光學(xué)輪廓儀

最大 130mm 深孔探測(cè)，孔徑比掃描 30 1，重復(fù)精度 ±2μm，無(wú)需 Z 軸拼接，單次掃描直接成像

激光相干3D光學(xué)輪廓儀

同軸落射光學(xué)角度性能優(yōu)于傳統(tǒng)三角成像，可清晰成像，精準(zhǔn)完成銑刀刃口鈍化 R 值與刀面角度測(cè)量。

激光相干3D光學(xué)輪廓儀

全域粗糙度一鍵測(cè)量，量程跨度廣，可精準(zhǔn)檢測(cè)從超光滑鏡面到增材高粗糙工件的全范圍表面粗糙度。

激光相干3D光學(xué)輪廓儀

保留黑白干涉解析能力，搭載 RGB 真彩色成像；還原樣品形貌與色彩細(xì)節(jié)，測(cè)量更全面、分析更直觀。




激光相干3D光學(xué)輪廓儀

擁有豐富測(cè)量功能，可一站式完成平面尺寸、臺(tái)階、凸臺(tái)、深孔、凹槽、角度、弧度、平面度、平行度、粗糙度等全類型形位公差測(cè)量；簡(jiǎn)潔人性化界面，操作更簡(jiǎn)單，測(cè)量更輕松。

三角光學(xué)3D輪廓儀
三角光學(xué)3D輪廓儀

優(yōu)于1nm重復(fù)精度下，更高速的晶圓掃描成像，SEMI標(biāo)準(zhǔn)下，滿足各種TTV BOW WARP TIP等測(cè)量。

·  適配多種材質(zhì)工件，無(wú)需表面處理，檢測(cè)高效便捷。

·  具備亞微米高精度，大視野測(cè)量無(wú)需拼接，支持多探頭選配。

·  搭載分層掃描技術(shù)，可穿透表層精準(zhǔn)檢測(cè)內(nèi)部結(jié)構(gòu)形態(tài) 

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三角光學(xué)3D輪廓儀

高反光、漫反射工件免噴粉，無(wú)需表面處理直接掃描；散熱翅片角度測(cè)量專用，1-秒快速掃描、即刻出結(jié)果。

三角光學(xué)3D輪廓儀

透明玻璃檢測(cè)視野限制，無(wú)需拼接，三角掃描-3-秒完成-4mm-視野亞微米級(jí)測(cè)量，可按需選配探頭

三角光學(xué)3D輪廓儀

柔軟透明FPC軟板臺(tái)階測(cè)高，擺脫探針與拼接低效問(wèn)題，3 秒極速掃描達(dá)亞微米精度，標(biāo)配 4mm 視野，多探頭可選.

三角光學(xué)3D輪廓儀

適配漫反射--吸光光伏片柵線檢測(cè)，2-秒實(shí)現(xiàn)高寬比測(cè)試，大視野高效排查細(xì)微工藝缺陷。

三角光學(xué)3D輪廓儀

實(shí)測(cè)三豐-516-498系列標(biāo)準(zhǔn)階差規(guī)，2μm-標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)階清晰分辨


三角光學(xué)3D輪廓儀

搭載獨(dú)特分層算法，可穿透頂層蓋板玻璃，精準(zhǔn)掃描并分離出底層-COB-感光芯片的貼合狀態(tài)，清晰還原芯片翹曲形貌。


三角光學(xué)3D輪廓儀

高反光、漫反射工件免噴粉，無(wú)需表面處理直接掃描；散熱翅片角度測(cè)量專用，1-秒快速掃描、即刻出結(jié)果。

三角光學(xué)3D輪廓儀

透明玻璃檢測(cè)視野限制，無(wú)需拼接，三角掃描-3-秒完成-4mm-視野亞微米級(jí)測(cè)量，可按需選配探頭

三角光學(xué)3D輪廓儀

柔軟透明FPC軟板臺(tái)階測(cè)高，擺脫探針與拼接低效問(wèn)題，3 秒極速掃描達(dá)亞微米精度，標(biāo)配 4mm 視野，多探頭可選.

三角光學(xué)3D輪廓儀

適配漫反射--吸光光伏片柵線檢測(cè)，2-秒實(shí)現(xiàn)高寬比測(cè)試，大視野高效排查細(xì)微工藝缺陷。

三角光學(xué)3D輪廓儀

實(shí)測(cè)三豐-516-498系列標(biāo)準(zhǔn)階差規(guī)，2μm-標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)階清晰分辨



三角光學(xué)3D輪廓儀

搭載獨(dú)特分層算法，可穿透頂層蓋板玻璃，精準(zhǔn)掃描并分離出底層-COB-感光芯片的貼合狀態(tài)，清晰還原芯片翹曲形貌。