測量項目
先設置數據
激光相干3D光學輪廓儀
激光相干3D光學輪廓儀

讓白光干涉儀操作更簡單，更智能

·  同軸垂直掃描，避開遮擋，單幅 90mm，大視野拼接高效

·  支持 130mm深孔檢測，30:1 高徑比，±2mm精度，一次成型

·  同軸光路角度特性更優，精準測量刀具刃口 R 角與角度

·  智能擬合測算弧面 R 值，消除人工測量偏差

·  搭載旋轉掃描結構，實現內孔壁面三維輪廓測量





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收起

激光相干3D光學輪廓儀

同軸落射垂直掃描設計，有效規避樣品遮擋干擾，單幅掃描可達 90mm，大視野無縫拼接更高效。

激光相干3D光學輪廓儀

最大 130mm 深孔探測，孔徑比掃描 30 1，重復精度 ±2μm，無需 Z 軸拼接，單次掃描直接成像

激光相干3D光學輪廓儀

同軸落射光學角度性能優于傳統三角成像，可清晰成像，精準完成銑刀刃口鈍化 R 值與刀面角度測量。

激光相干3D光學輪廓儀

弧面 R 值測量核心難點為曲線自動擬合測算半徑R,規避人工鼠標抓取產生的測量誤差。


激光相干3D光學輪廓儀

傳統反射光路無法測量內孔垂直壁面，加裝旋轉反射掃描機構，即可完成內孔 3D 輪廓掃描。


激光相干3D光學輪廓儀

擁有豐富測量功能，可一站式完成平面尺寸、臺階、凸臺、深孔、凹槽、角度、弧度、平面度、平行度、粗糙度等全類型形位公差測量；簡潔人性化界面，操作更簡單，測量更輕松。


激光相干3D光學輪廓儀

同軸落射垂直掃描設計，有效規避樣品遮擋干擾，單幅掃描可達 90mm，大視野無縫拼接更高效。

激光相干3D光學輪廓儀

最大 130mm 深孔探測，孔徑比掃描 30 1，重復精度 ±2μm，無需 Z 軸拼接，單次掃描直接成像

激光相干3D光學輪廓儀

同軸落射光學角度性能優于傳統三角成像，可清晰成像，精準完成銑刀刃口鈍化 R 值與刀面角度測量。

激光相干3D光學輪廓儀

全域粗糙度一鍵測量，量程跨度廣，可精準檢測從超光滑鏡面到增材高粗糙工件的全范圍表面粗糙度。

激光相干3D光學輪廓儀

保留黑白干涉解析能力，搭載 RGB 真彩色成像；還原樣品形貌與色彩細節，測量更全面、分析更直觀。




激光相干3D光學輪廓儀

擁有豐富測量功能，可一站式完成平面尺寸、臺階、凸臺、深孔、凹槽、角度、弧度、平面度、平行度、粗糙度等全類型形位公差測量；簡潔人性化界面，操作更簡單，測量更輕松。

多功能面型干涉儀
多功能面型干涉儀

全新激光光學頻率梳技術

完美兼具實驗室和產線自動化3D測量需求

·  納米精度，200×200mm 大視野全域掃描

·  可測 70mm大臺階工件雙面平行度

·  加裝光譜模塊，同步檢測面型與粗糙度

·  自動測量智能判定，適配批量全檢

·  獨創光路，雙面同掃精準測厚與平行度

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多功能面型干涉儀

納米精度｜200×200mm 視野，掃描成像


多功能面型干涉儀

傳統干涉儀受光學局限，無法對70mm臺階工件雙面同步掃描，難以測量平面平行度。

多功能面型干涉儀

傳統截面測量易因樣品差異造成取樣偏移，數據偏差大；面臺階測量可有效杜絕此類誤差。

多功能面型干涉儀

傳統大視野面測受光學限制，XY 精度難以兼顧，加裝光譜模塊即可完美兼顧粗糙度測量。

多功能面型干涉儀

納米精密檢測設備搭載自動點位測量與智能OK NG判定功能，大幅提速，適配批量全檢作業。

多功能面型干涉儀

專屬獨特光路架構，非透明樣品支持上下表面同時掃描，可精準檢測厚度均勻性與面平行度


多功能面型干涉儀

納米精度｜200×200mm 視野，掃描成像


多功能面型干涉儀

傳統干涉儀受光學局限，無法對70mm臺階工件雙面同步掃描，難以測量平面平行度。

多功能面型干涉儀

傳統截面測量易因樣品差異造成取樣偏移，數據偏差大；面臺階測量可有效杜絕此類誤差。

多功能面型干涉儀

傳統大視野面測受光學限制，XY 精度難以兼顧，加裝光譜模塊即可完美兼顧粗糙度測量。

多功能面型干涉儀

納米精密檢測設備搭載自動點位測量與智能OK NG判定功能，大幅提速，適配批量全檢作業。

多功能面型干涉儀

專屬獨特光路架構，非透明樣品支持上下表面同時掃描，可精準檢測厚度均勻性與面平行度