同軸落射光學角度性能優于傳統三角成像，可清晰成像，精準完成銑刀刃口鈍化 R 值與刀面角度測量。

全域粗糙度一鍵測量，量程跨度廣，可精準檢測從超光滑鏡面到增材高粗糙工件的全范圍表面粗糙度。

保留黑白干涉解析能力，搭載 RGB 真彩色成像；還原樣品形貌與色彩細節，測量更全面、分析更直觀。

擁有豐富測量功能，可一站式完成平面尺寸、臺階、凸臺、深孔、凹槽、角度、弧度、平面度、平行度、粗糙度等全類型形位公差測量；簡潔人性化界面，操作更簡單，測量更輕松。

傳統截面測量易因樣品差異造成取樣偏移，數據偏差大；面臺階測量可有效杜絕此類誤差。

傳統大視野面測受光學限制，XY 精度難以兼顧，加裝光譜模塊即可完美兼顧粗糙度測量。

納米精密檢測設備搭載自動點位測量與智能OK NG判定功能，大幅提速，適配批量全檢作業。

專屬獨特光路架構，非透明樣品支持上下表面同時掃描，可精準檢測厚度均勻性與面平行度

柔軟透明FPC軟板臺階測高，擺脫探針與拼接低效問題，3 秒極速掃描達亞微米精度，標配 4mm 視野，多探頭可選.

適配漫反射--吸光光伏片柵線檢測，2-秒實現高寬比測試，大視野高效排查細微工藝缺陷。

實測三豐-516-498系列標準階差規，2μm-標準臺階清晰分辨

搭載獨特分層算法，可穿透頂層蓋板玻璃，精準掃描并分離出底層-COB-感光芯片的貼合狀態，清晰還原芯片翹曲形貌。