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精密制造LCM拼接測量誤差根源及標準化檢測方案（LCM Sp...

半導(dǎo)體與精密制造領(lǐng)域中，工件直線度、微觀形貌的精準檢測是質(zhì)量管控核心環(huán)節(jié)。激光共聚焦顯微鏡（LCM）拼接測量普遍存在波紋抖動、形貌錯位、數(shù)據(jù)失真等問題，檢測結(jié)果無...

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2026

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LNG深冷硬密封蝶閥平面度對密封性能的光學(xué)輪廓測量分析

LNG（液化天然氣，Liquefied Natural Gas）深冷硬密封蝶閥是低溫儲運系統(tǒng)關(guān)鍵控流設(shè)備，密封面平面度（flatness）為影響閥門低溫密封可靠性...

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激光顯微鏡干涉測量 去馬賽克插值（Demosaicing I...

一、白光干涉測量優(yōu)選黑白CMOS的核心技術(shù)邏輯工業(yè)級白光干涉儀普遍標配黑白CMOS。彩色CMOS的硬件結(jié)構(gòu)與去馬賽克插值算法會產(chǎn)生固有測量誤差，破壞干涉條紋精度，...

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2026

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光學(xué)輪廓測量在火電高溫主蒸汽閥平面度檢測中的應(yīng)用

高溫主蒸汽閥（High-temperature Main Steam Valve）是火電機組熱力系統(tǒng)核心承壓密封部件，其閥座密封面平面度（Flatness）直接決...

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